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島津EPMA-8050G場(chǎng)發(fā)射電子探針

產(chǎn)品型號(hào): 更新時(shí)間: 2019-11-22
島津EPMA-8050G場(chǎng)發(fā)射電子探針 從SEM觀察條件到1μA量級(jí),在各種束流條件下都擁有空間分辨率的*場(chǎng)發(fā)射電子光學(xué)系統(tǒng)。

產(chǎn)品概述

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,電子

[性能特點(diǎn)]

● 的空間分辨率

電子探針可達(dá)到的級(jí)別的二次電子圖像分辨率3nm(加速電壓30kV),分析條件下的二次電子分辨率。

(加速電壓10kV時(shí)20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA)

● 大束流超高靈敏度分析

實(shí)現(xiàn)3.0μA(加速電壓30kV)的大束流??沙哽`敏度進(jìn)行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無(wú)需更換物鏡光闌。

● 高性能X射線譜儀

秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢(shì)的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率??赏瑫r(shí)搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝*。

● 全部分析操作簡(jiǎn)單易懂

全部操作僅靠一個(gè)鼠標(biāo)就可進(jìn)行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導(dǎo)航模式,自動(dòng)指引直至生成報(bào)告。

 

◎?qū)崿F(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術(shù)

 

1 高亮度肖特基發(fā)射體

島津場(chǎng)發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更

大,輸出更高。即可以保持其高亮度,還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)

定大電流。

 

2 EPMA電子光學(xué)系統(tǒng)

電子光學(xué)系統(tǒng),聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側(cè),交叉點(diǎn)不是靠聚光透鏡

形成,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上,具有獨(dú)立構(gòu)成與控制方式的可

變光闌透鏡來(lái)形成交叉點(diǎn)的(:第4595778號(hào))。簡(jiǎn)單的透鏡結(jié)

構(gòu),既能獲得大束流,同時(shí)全部電流條件下設(shè)定合適的打開(kāi)角度,將電子

束壓縮到細(xì)。當(dāng)然是不需要更換物鏡光闌的。

3 超高真空排氣系統(tǒng)

電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2

級(jí)差動(dòng)排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小,以控制流入中

間室的氣體,使電子槍室始終保持著超高真空,確保發(fā)射體穩(wěn)定工作。

4 高靈敏度X射線譜儀

島津場(chǎng)發(fā)射電子探針多可同時(shí)搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。

52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號(hào)的空間分辨率的同時(shí),又可減小樣品對(duì)X射線

的吸收,實(shí)現(xiàn)高靈敏度的分析。

 

 

 

[應(yīng)用舉例]

 

1.   島津場(chǎng)發(fā)射電子探針EPMA-8050G檢測(cè):無(wú)鉛焊錫焊料中Ag與Cu的分布

對(duì)無(wú)鉛焊錫焊料中大量含有Ag的區(qū)域進(jìn)行面分析的數(shù)據(jù)。(加速電壓:10kV;照射電流:20nA)
Ag的X射線像中顆粒形狀與BSE像(COMPO)的顆粒形狀*。直徑約0.1μm的Ag顆粒也清晰可辨(紅色虛線圈出)。同時(shí)可確認(rèn)Cu顆粒的存在(黃色虛線圈出)。

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